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在半导体工厂中，硅烷、氨气、氯气、磷烷等特种气体，是成就芯片精密制造的“关键推手”，但同时也因其易燃、有毒、腐蚀的特性，从储存、输送到使用，每一个环节都不容疏忽，对参数的精确监测提出了极高要求。因此，管路压差与柜体负压的持续监测，便成为守住安全底线的关键一环。
半导体制造过程中，特气、惰性气体和工艺气体需要经过气源端、气柜、气体分配单元、厂务管路以及设备端，稳定、洁净地输送至刻蚀、沉积、扩散、清洗等工艺设备。为了保证气体品质，在这个过程需要监测差压、气相色谱、露点和流量等多种参数，并且这些测量均面临低浓度、高纯度、低流量及复杂工况等挑战。 应用难点： ● 差压测量需应对精度不足、供电困难、测点分散及防爆兼容性要求； ● 气相色谱测量难在痕量杂质检测、采样系统吸附与交叉污染、危险气体采样安全； ● 露点测量受限于超低水分检测、管路吸附滞后、压力流量影响及系统污染； ● 流量测量则存在小流量精度不足、不同气体需分别校准、压缩性影响及安装条件敏感等问题； ● 仪器来自多家厂商带来的管理复杂性。
特种气体供应系统的监测需求，主要集中于二次配（Hook-up）系统、特气柜（Gas Cabinet）与特液与化学品输送（Chemical Delivery）系统三类场景。 在“气源——输送——使用”的特气体供应系统全链路过程中，测量难点不只是“能否测到”，更在于能否在高纯、低浓度、低流量和复杂安全环境下，持续获得稳定、可重复、可追溯的数据。
Dwyer差压表无源机械显示，抗冲击，免校准，可用于现场直读和运行状态确认，帮助工程人员快速判断系统压差是否处于正常范围。对于需要远程管理的场合，Dwyer Magnesense®差压变送器还可将测量信号接入厂务监控、PLC或BMS系统，实现连续监测和超限报警。Dwyer 1950防爆型差压开关具有UL/CSA/FM认证，适合特气危险区域。 Dwyer RM和VF系列流量计均采用变面积测量原理，通过浮子位置直接显示气体或液体流量，具有结构简单、读数直观、安装方便等特点，适用于气体供给、吹扫、取样和冷却回路等场景。Dwyer RM流量计采用坚固的聚碳酸酯管体，可用于气体和液体流量测量；Dwyer VF流量计是一款采用透明亚克力管体的紧凑型流量计，适用于低流量空气、气体和液体的现场监测。
Michell Pura露点变送器专为超高纯气体中的痕量水分测量而设计，适用于半导体供气系统中氮气、氩气、氢气等高纯气体的痕量水分监测。其测量范围可覆盖约−120°C至−40°C露点，对应极低的水分含量，满足高纯气体质量控制需求。可配置VCR连接和高完整性电抛光采样块，减少采样系统对气体洁净度的影响。
